ダイシングソー(ダイシング装置)
ダイシングソー
ダイシングソー
概要

半導体の後工程において、ダイシングテープに固定されたウェーハをブレードやレーザーで切断し、個々のチップ(ダイ)に分割するための装置。

役割
ダイシング工程の概要・ダイシングソーの活躍領域
ダイシング工程の概要・ダイシングソーの活躍領域
ダイシングソーは「半導体の後工程において、ウェーハを個々のチップに切り分けるための装置」です。ダイシングは、回路形成・薄化が完了したウェーハを、チップ単位に分割する工程で、ダイシングソーはその中核を担います。

ダイシングテープに固定されたウェーハを、ダイシングブレード(回転する薄い砥石)で切断します。切断後もチップはダイシングテープ上に保持されたまま、次工程へ送られます。

ディスコの強み
  • ダイシングソー・グラインダ・ポリッシャで世界シェア1位

    主要製品であるダイシングソー、グラインダ・ポリッシャで世界シェア70~80%[1]。ディスコの装置がなければ、半導体製造ができないといっても過言ではない状態。

  • 消耗品による継続収益
    消耗品の例(出典:ディスコ)
    消耗品の例(出典:ディスコ)

    ダイシングブレード(切断用工具・砥石)など、装置の稼働に伴って交換が必要な消耗品も、自社で手がける。ダイシングブレード、ドライポリッシングホイール、グラインディングホイールは、装置を使うほど摩耗して交換が必要になるため、装置の導入後も継続して需要が生まれる。

出典
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