ポリッシングホイール
ポリッシングホイール
概要
半導体の後工程において、ポリッシャ（研磨装置）に装着し、グラインディング後のウェーハ裏面を研磨してダメージ層を除去するための消耗部品
役割
ポリッシングホイールは「ポリッシング工程で使用する研磨部材」です。ポリッシングは、グラインディング後のウェーハ裏面に残ったダメージ層を除去する工程で、ポリッシングホイールは砥石としての役割を担います。
ポリッシングホイールはパッド部に砥粒を含んでおり、高速回転させることでウェーハ裏面を研磨、ダメージ層を取り除きます。消耗品のため、定期的な交換が必要です。