ポリッシャ(研磨装置)
ポリッシャ(研磨装置)
ポリッシャ(研磨装置)
概要

半導体の後工程において、グラインダで薄化したウェーハの裏面を研磨し、研削で生じた微細な傷(ダメージ層)を除去して、チップの強度を高める装置

役割
研磨工程の概要・ポリッシャの活躍領域
研磨工程の概要・ポリッシャの活躍領域
ポリッシャは「半導体の後工程において、研削後のウェーハを研磨し、ダメージ層を除去するための装置」です。薄く削ったウェーハ裏面の微細な傷を取り除き(ストレスリリーフ)、チップの強度を確保します。

砥粒を含む研磨用のホイールを回転させ、スラリー(研磨液)を使わずにウェーハ裏面を磨く「ドライポリッシュ」が代表的な方式です。なお、前工程で膜の平坦化に用いる研磨装置は、一般に「CMP装置」と呼ばれ、区別されます。

ディスコの強み
  • ダイシングソー・グラインダ・ポリッシャで世界シェア1位

    主要製品であるダイシングソー、グラインダ・ポリッシャで世界シェア70~80%[1]。ディスコの装置がなければ、半導体製造ができないといっても過言ではない状態。

  • 消耗品による継続収益
    消耗品の例(出典:ディスコ)
    消耗品の例(出典:ディスコ)

    ダイシングブレード(切断用工具・砥石)など、装置の稼働に伴って交換が必要な消耗品も、自社で手がける。ダイシングブレード、ドライポリッシングホイール、グラインディングホイールは、装置を使うほど摩耗して交換が必要になるため、装置の導入後も継続して需要が生まれる。

出典
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