半導体の製造工程（ウェーハテスト）において、ウェーハ上の各チップの電気的特性を検査するための、精密な位置決め・搬送装置。

電気的検査では、ウェーハ上の個々のデバイスに、測定器やテスタからテスト信号をプローブ針やプローブカードを介して与え、デバイスからの応答信号を戻します。

• ウェーハの搬送・位置決め

  ウェーハをステージに載せ、検査するデバイスを、プローブ針の位置に順番に移動する。ミクロン単位で位置を合わせる。

• プローブ針の接触

  プローブカードの針をデバイスの電極パッドに接触させ、テスタとの間で、テスト信号と応答信号をやり取りする。

• 温度制御

  ウェーハを載せたステージを加熱・冷却し、実使用に近い高温・低温の条件で検査する。