6【研究開発活動】
当社グループは、要素技術から製品の開発まで、積極的な研究開発活動を行っております。
現在、研究開発は当社の研究開発部門と事業部の開発・設計部門及び連結子会社の技術部門が推進しております。当社グループの研究開発スタッフは約310名であります。
また、東芝グループ及びビジネスパートナーとの連携・協力関係を保ち、先進技術の研究開発と商品化を効率的に進めております。
当連結会計年度におけるグループ全体の研究開発費は
各セグメント別の研究成果、研究開発費は次のとおりであります。
(1)ファインメカトロニクス
半導体製造装置では、枚葉式窒化膜ウェットエッチング装置、ウェーハ洗浄装置、ケミカルドライエッチング装置、マスク用ウェット洗浄装置及びマスク用ドライエッチング装置の開発等をあげることができます。また、先端パッケージ向けパネル用ウェットエッチングスピン装置の開発等をあげることができます。
研究開発費は
(2)メカトロニクスシステム
半導体組立装置では先端パッケージ用次世代高精度ボンディング装置の開発等をあげることができます。電子・真空機器分野では、電子部品向け対応スパッタリング装置の開発等をあげることができます。
研究開発費は
(3)流通機器システム
券売機分野では、クラウド型新型券売機、キャッシュレス決済のセキュリティ強化(PCI-PTSv6対応・通信暗号強化)とブランドの増加に対応した機種の開発をあげることができます。
研究開発費は