６ 【研究開発活動】

当社グループでは、2020年に策定した“価値創造ストーリー”である「E-Vision2030」の実現に向け、重要課題とした「５つのマテリアリティ」を解決するプロセスを通じて持続的に社会に貢献するため、各事業及び各事業と連携を取るコーポレート研究開発組織で研究開発に取り組んでいます。

各事業部及び各グループ会社では、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、及び技術や製品の高付加価値化に向けた研究開発を、業務提携などの外部との協業も活用して効果的に進めました。

コーポレート研究組織では、これらの事業を支える共通基盤と重要なコア技術、今期は特にナノ領域の研究人材の強化を行いました。さらに「研究開発戦略策定委員会」にて、2030年以降を見据えた中長期の技術開発戦略を策定し、複数の研究テーマの概念検証を開始しました。本活動を継続的に発展させ、将来のあるべき姿に向けた研究テーマの立案と具体的な取組みを強化していきます。また、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、仮想・拡張・複合現実（xR）技術を活用した作業支援・トレーニング手法などを複数部門において実装するとともに金属3Dプリンタで製造した製品の実用化を開始し、製造現場のDX化を加速させています。

グループ全社で挑戦するCP水素関連戦略ビジネスユニットでは、社会実装に向けた事業活動として荏原が有する技術やノウハウを活かし、「つくる」「はこぶ」「つかう」のすべての分野でクリーン水素関連技術の社会実装を目指した活動をさらに強化し、“共創”を基本理念に、産官学連携を強め、組織横断的に取り組むことで、水素がもたらす新たな社会の実現に貢献しています。具体的には世界初の液体水素昇圧ポンプを中心に水素サプライチェーン構築を世界で支えていきます。また、水素焚き吸収式冷温水機、水素コンプレッサの開発も進め、様々な利活用に貢献していきます。天然ガスを使ったターコイズ水素製造についてはNEDO事業にも参画し、クリーン水素製造に関する研究開発の取り組みも強化しています。さらに、衛星用ロケットや水素航空機用の燃料供給ポンプなど、より難易度の高い航空宇宙分野への挑戦も進めています。

マリン関連では、「水や食べるものに困らない世界」への貢献に向けて、袖ケ浦工場内に陸上養殖試験設備を設けて運用を行っていますが、さらなる実用化とスケールアップを図るため、静岡県内に実証施設を立上げ、2025年より稼働を予定しています。バイオ関連においては自社ラボにて細胞培養を実際に行いながら高効率細胞培養システムの開発に取り組んでいます。

製造技術関連では、グループ全体の製造技術をサポートする「EMTAC（Ebara Manufacturing Technology Advanced Center）」と名付けた実証開発環境を袖ヶ浦事業所内に設け、各事業部門の対面市場ビジネスに対応するために、鋳造・溶接/接合・機械加工・プレス・表面改質・３D（造形/計測）・非破壊（CT)をコア技術と定め、「開発試作品を3日でお手元に」をモットーに開発試作のスピードアップおよび新たな製造技術開発を推進しています。

当連結会計年度の研究開発費は20,524百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

（建築・産業）

建築・産業分野では、標準ポンプ、送風機、冷熱機器の各製品とサービスの開発に加えて、これら製品の組合せによるソリューション技術を模索、提案することで、より複雑化した顧客の課題解決に取り組んでいます。

標準ポンプでは、インバータ内蔵PMモーター（IVM：Intelligent Variable-speed Motor）を搭載した高効率可変速ポンプシリーズを発売開始しました。市場での評価試験により検証した高い省エネルギー性（平均35%の電力削減）と既設ポンプからの取替が容易であることにより、新設および既設更新問わず需要を取り込み、顧客のエネルギーコストの削減及びカーボンニュートラルの実現に貢献します。また、給水装置では、更なる省エネルギー・小型軽量化を追求した新製品を市場投入しました。これらの製品は、スマートフォンによる運転操作や状態監視、遠隔監視システム(荏原メンテナンスクラウド）との接続が可能であり、顧客に対し設備の安定運用と維持管理の省力化などの新たな価値を提供します。

冷熱機器では、環境に配慮したヒートポンプなどの廃熱利用製品や、地球温暖化係数の小さい冷媒を採用したターボ・スクリュー式冷凍機のラインナップ拡充、応用範囲拡大を継続しています。また、産業向け温調装置では、安定稼働と省エネルギー効果を検証するため、市場での評価を継続しています。さらに、自然冷媒を用いた装置を開発し、地球温暖化防止に貢献します。

送風機では、省エネルギー化に向けて送風機効率をより高める開発や、送風機に使用する材料をレアメタル含有量の少ない材料に変更するなど、持続可能な社会に貢献する開発活動を継続します。

当連結会計年度の研究開発費は5,214百万円です。

（エネルギー）

エネルギー分野では、市場を取り巻く環境が大きな変革期を迎える中で、エネルギートランジションに対応した水素、アンモニア、CCUSなどの次世代エネルギー向けの製品開発と製品ラインナップの拡充に取り組んでいます。

コンプレッサでは、サステナビリティ領域向けに高効率・省スペースのCO2、水素コンプレッサの開発が進行しており、市場投入に向けた準備を進めています。

タービンでは、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を完了し、販売を推進しています。また、コンプレッサ、タービン、クライオポンプの性能改善と信頼性向上に向けた要素技術の開発に関しても継続して進めています。

カスタムポンプでは、エネルギー分野で脱炭素のニーズに応えるアンモニア用キャンドモータポンプの開発を完了し、販売を推進しています。

また、顧客の保全コストやCO2の削減、プラントの長期安定稼働などの課題を解決し、プラントの収益の最大化を支援するために、顧客現場のデータと当社が保有する回転機械技術を用いた遠隔監視・予知診断の商用化を進めています。

当連結会計年度の研究開発費は2,740百万円です。

（インフラ）

インフラ分野では、製品、システム技術および建設に関して国内外の各顧客の特徴に沿った最適化を実現するための開発を行っています。用途、使用環境による様々な要望に応える設備の実現のみならず、管理・運営技術の高度化、省エネ・省資源・環境負荷低減を目指した継続的な検討を行っています。

一方でカスタムポンプ製品の製造を担う富津工場では、インフラカンパニーのみならず、エネルギー、建築・産業分野における海外工場での開発支援および脱炭素のニーズに応える製品の供給に関しても継続して進めています。

当連結会計年度の研究開発費は755百万円です。

（環境）

環境分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設の長期にわたる運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでいます。こうした中、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、運転自動化の実現を視野に入れたAI/ICT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの需要拡大を見込み、廃棄物処理施設やバイオマス発電施設における発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、最近の世界的な動きとなっているカーボンニュートラルやプラスチックによる海洋汚染抑制に寄与すべく、廃プラスチックのケミカルリサイクルに適用する資源化技術の開発を行っています。

当連結会計年度の研究開発費は1,817百万円です。

（精密・電子）

精密・電子分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求や、急成長するAI、IoT分野に関する技術開発要求にも対応するよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品や総合排気機器メーカの強みを活かした製品の開発、さらには、DX技術やxR技術による生産性や品質の向上及びアフタービジネスの強化にも取り組んでいます。

また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。

当連結会計年度の研究開発費は9,996百万円です。

６ 【研究開発活動】

当社グループでは、2020年に策定した“価値創造ストーリー”である「E-Vision2030」の実現に向け、重要課題とした「５つのマテリアリティ」を解決するプロセスを通じて持続的に社会に貢献するため、各事業及び各事業と連携を取るコーポレート研究開発組織で研究開発に取り組んでいます。

各事業部及び各グループ会社では、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、及び技術や製品の高付加価値化に向けた研究開発を、業務提携などの外部との協業も活用して効果的に進めました。

コーポレート研究組織では、これらの事業を支える共通基盤と重要なコア技術の強化に加え、「研究開発戦略策定委員会」を設立し、2030年以降を見据えた中長期の技術開発戦略の策定を開始しました。本活動を継続的に発展させ、将来のあるべき姿に向けた研究テーマの立案と具体的な取組みを強化していきます。また、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、仮想・拡張・複合現実（xR）技術を活用した作業支援・トレーニング手法の実装を複数部門において開始しています。さらに、金属3Dプリンタで製造した製品の実用化を推進し、製造現場のDX化を加速させています。

グループ全社で挑戦するCP水素関連事業プロジェクトでは、社会実装に向けた事業活動を始めました。荏原が有する技術やノウハウを活かし、「つくる」「はこぶ」「つかう」のすべての分野でクリーン水素関連技術の社会実装を目指した活動をさらに強化し、“共創”を基本理念に、産官学連携を強め、組織横断的に取り組むことで、水素がもたらす新たな社会の実現に貢献していきます。具体的には世界初の液体水素昇圧ポンプや水素焚き吸収式冷温水機、水素コンプレッサの開発が進んでいます。また、天然ガスを使ったターコイズ水素製造についてはNEDO事業にも参画し、クリーン水素製造に関する研究開発の取り組みも強化しています。さらに、衛星用ロケットや水素航空機用の燃料供給ポンプなど、より難易度の高い航空宇宙分野への挑戦も進めています。

また、「水や食べるものに困らない世界」への貢献に向けて、陸上養殖実証設備を袖ケ浦工場内に設け、高度生産システムの技術開発を進めており、バイオ関連においては自社ラボにて細胞培養を実際に行いながら高効率細胞培養システムの開発に取り組んでいます。

当連結会計年度の研究開発費は18,281百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

（建築・産業）

建築・産業分野では、標準ポンプ、送風機、冷熱機器の各製品とサービスの開発に加えて、これら製品の組合せによるソリューション技術を模索、提案することで、より複雑化した顧客の課題解決に取り組んでいます。

標準ポンプでは、グローバル市場向けに高効率な排水と非閉塞性を両立させた汚水水中ポンプの販売を開始しました。また、インバータ一体型PMモーターIVMを搭載した標準ポンプ製品群のラインアップ拡充を継続して進めており、省エネルギー性を検証する実装実験を市場で行っています。

冷熱機器では、廃熱回収できる吸収式冷凍機及び地球温暖化係数の小さい冷媒を使用するターボ冷凍機などのラインアップ拡充、応用範囲拡大を継続して進めています。また、半導体市場向けの温調装置では、安定稼働と省エネルギー効果を実証するため、装置メーカやエンドユーザーによる評価を進めています。

基盤技術に関しては、流体・構造数値シミュレーションによる性能と振動・強度評価手法の開発、3DCADの自動化や最適化設計も含めたデジタル設計・解析プロセスの効率化、ポンプ・送風機の運転データ分析による運転状態診断手法の構築を進めています。また、製品軸ごとに独立していた既存の遠隔監視システムを統合し、ポンプ・送風機・冷熱機器の運転状態を統合監視可能なシステムの構築を進めています。

当連結会計年度の研究開発費は4,598百万円です。

（エネルギー）

コンプレッサ・タービンでは、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を完了し、上市いたしました。引き続き、CO2、水素向け圧縮機の開発、および圧縮機、タービン、クライオポンプの性能改善、信頼性向上に向けて、要素技術の開発を進めています。

カスタムポンプでは、エネルギー分野で脱炭素のニーズに応えるアンモニアポンプの開発を完了し、上市いたしました。

当連結会計年度の研究開発費は3,445百万円です。

（インフラ）

インフラ分野では、製品、システム技術および建設に関して国内外の各顧客の特徴に沿った最適化を実現するための開発を行っています。用途、使用環境による様々な要望に応える設備の実現のみならず、管理・運営技術の高度化、省エネ・省資源・環境負荷低減を目指した継続的な検討を行っています。

一方でカスタムポンプ製品の製造を担う富津工場では、インフラカンパニーのみならず、エネルギー、建築・産業分野における海外工場での開発支援および脱炭素のニーズに応える製品の供給に関しても継続して進めています。

当連結会計年度の研究開発費は690百万円です。

（環境）

環境分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設の長期にわたる運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでいます。こうした中、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、運転自動化の実現を視野に入れたAI/ICT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの需要拡大を見込み、廃棄物処理施設やバイオマス発電施設における発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、最近の世界的な動きとなっているカーボンニュートラルやプラスチックによる海洋汚染抑制に寄与すべく、廃プラスチックのケミカルリサイクルに適用する資源化技術の開発を行っています。

当連結会計年度の研究開発費は1,481百万円です。

（精密・電子）

精密・電子分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求や、急成長するAI、IoT分野に関する技術開発要求にも対応するよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品や総合排気機器メーカの強みを活かした製品の開発、さらには、DX技術やxR技術による生産性や品質の向上及びアフタービジネスの強化にも取り組んでいます。

また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。

当連結会計年度の研究開発費は8,064百万円です。

５ 【研究開発活動】

当社グループでは、2020年に策定した“価値創造ストーリー”である「E-Vision2030」の実現に向け、重要課題とした「５つのマテリアリティ」を解決するプロセスを通じて持続的に社会に貢献するため、風水力事業、環境プラント事業、精密・電子事業、及びこれら事業と連携を取るコーポレート研究開発組織で、研究開発に取り組んでいます。

各事業部及び各グループ会社では、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、及び技術や製品の高付加価値化に向けた研究開発を、業務提携などの外部との協業も活用して効果的に進めました。

コーポレート研究組織では、これらの事業を支える共通基盤と重要なコア技術の強化、及び中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化を、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、製造現場のDX（デジタルトランスフォーメーション）推進に向け、xR技術や金属3Dプリンタを活用した新しいものづくり技術の構築を加速させています。また、持続可能な社会づくりに不可欠な水素社会の実現のため、グループ全社で挑戦するCP水素関連事業プロジェクトを発足しました。荏原が有する技術やノウハウを活かし、「つくる」「はこぶ」「つかう」のすべての分野でクリーン水素関連技術の社会実装を目指した活動を開始しています。“共創”を基本理念に、産官学連携を強め、組織横断的に取り組むことで、大規模水素サプライチェーンの構築、水素発電などに必要不可欠な遠心式の液体水素ポンプや水素コンプレッサ、水素ステーション向けのプランジャポンプの開発を進めるとともに、廃プラスチックからの水素製造や天然ガスを使ったターコイズ水素製造など、クリーン水素の製造分野の社会実装に取り組んでいます。さらに、液体水素などの極低温燃料を用いた衛星用ロケットの燃料供給ポンプも開発し、航空宇宙分野への参画を進めています。

当連結会計年度の研究開発費は15,264百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

（風水力事業）

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（ガス、電力）、機能性化学、医薬医療、建築設備分野などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組んでいます。

標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向し機電・通信・制御を一体化した製品群の開発を継続して進めており、小型・省スペース、省エネを実現した小型キャンドポンプや通信機能を備えたインバータ一体型PMモーターIVMのラインナップ拡充、顧客の省人化・省力化に貢献するICT技術製品の開発を進めています。

カスタムポンプでは、エネルギー分野で脱炭素のニーズに応えられるアンモニアポンプ、水利分野において省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めています。

コンプレッサ・タービン分野では、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を完了し、販売開始に向けて準備を進めています。また、圧縮機、タービン、クライオポンプの性能改善、信頼性向上に向けて、要素技術の開発を進めています。

冷凍機分野では、環境負荷低減ニーズの高まりに応えるため、地球温暖化係数の小さい冷媒を使用する冷凍機の開発を継続し、ラインナップ拡充、応用範囲拡大を進めており、低GWP冷媒を採用した水冷スクリューチラーを市場投入しました。また、高度情報化社会の進展に伴い増大している半導体需要に応えるため、同製造プロセスに用いられ、生産性の向上に寄与する温調装置の開発を進めています。

基盤技術に関しては、コーポレート研究開発組織とも連携し、「数値シミュレーションと新しい最適化手法による性能向上手法の開発」、「3DCADの自動化も含めたデジタル設計・解析プロセスの効率化」による開発スループットの一層の向上、「IoT技術によるポンプの状態予知手法の構築」などを進めています。

当連結会計年度の研究開発費は7,452百万円です。

（環境プラント事業）

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの１つとしての木質バイオマス発電や、産業廃棄物処理の需要を見込み、発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、最近の世界的な動きとなっているカーボンニュートラルやプラスチックによる海洋汚染抑制に寄与すべく、廃プラスチックのケミカルリサイクルに適用する資源化技術の開発を行っています。

当連結会計年度の研究開発費は1,170百万円です。

（精密・電子事業）

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求や、急成長するAI、IoT分野に関する技術開発要求にも対応するよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品や総合排気機器メーカの強みを活かした製品の開発や、さらには、DX技術やxR技術による生産性や品質の向上及びアフタービジネスの強化にも取り組んでいます。

また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。

当連結会計年度の研究開発費は6,641百万円です。

５ 【研究開発活動】

当社グループでは、2020年に策定した“価値創造ストーリー”である「E-Vision2030」の実現に向け、重要課題とした「５つのマテリアリティ」を解決するプロセスを通じて持続的に社会に貢献するため、風水力事業、環境プラント事業、精密・電子事業、及びこれら事業と連携を取るコーポレート研究開発組織で、研究開発に取り組んでいます。

各事業部及び各グループ会社では、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、及び技術や製品の高付加価値化に向けた研究開発を、業務提携などの外部との協業も活用して効果的に進めました。一方、コーポレート研究組織では、これらの事業を支える共通基盤と重要なコア技術の強化、及び中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化を、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、DX（デジタルトランスフォーメーション）化やプロセスイノベーション等への取り組みと成果の利活用を加速させています。

また、持続可能で地球にやさしい社会、安全・安心に過ごせる社会インフラ、水や食べるものに困らない世界を支えることを目指して、当社がこれまで培ってきた技術を活かしながら外部の優れた技術との融合をはかり、新規事業の創出に挑戦しています。事業創出に向けては、陸上養殖のエコシステム、再生医療向け装置、構造たんぱく質の生産技術、細胞培養関連技術などの取り組みに着手しています。

当連結会計年度の研究開発費は13,575百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

（風水力事業）

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（ガス、電力）、建築設備分野などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組んでいます。

標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向し機電・通信・制御を一体化した製品群の開発を継続して進めており、小型・省スペース、スラリー液対応を実現した立型プロセスポンプLXD型の提供や高効率立型多段ポンプEVMS型のラインナップ拡充を実施しました。また、顧客の省人化・省力化に貢献するICT技術製品の開発も継続して進めており、IoTセンサとクラウドを組み合わせた「荏原メンテナンスクラウド」を立ち上げ、ポンプ等の健全性を遠隔にて把握できる状態監視システムの提供を開始しました。

カスタムポンプでは、エネルギー分野と水利分野において省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めています。また、液体水素ポンプの開発も進めており、NEDO助成事業以外も対応し加速を図るため、新たにコーポレートプロジェクトとして「CP水素関連事業プロジェクト」を発足しました。

コンプレッサ・タービン分野では、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を継続して進めています。また、天然ガスパイプライン向圧縮機の開発も進めています。

冷凍機分野では、環境負荷低減ニーズの高まりに応えるため、地球温暖化係数の小さい冷媒を使用する冷凍機の開発を継続し、ラインナップ拡充、応用範囲拡大を進めています。また、高度情報化社会の進展に伴い増大している半導体需要に応えるため、同製造プロセスに用いられ、生産性の向上に寄与する温調装置の開発を進めています。

基盤技術に関しては、コーポレート研究開発組織とも連携し、技術開発を実施しました。「素形材・溶接・表面改質・加工等に対する新しい生産基盤技術」については、鋳造リードタイム削減と製造精度向上に向け、効率的な3D形状モデリング手法と“3D積層技術”によるデジタルマニュファクチャリングの構築を進めています。その他にも「数値シミュレーションと新しい最適化手法の導入などによる開発スループットの一層の向上とデジタル設計・解析プロセスの効率化」、「PIV（粒子画像流速計）技術の導入による実験基盤技術の拡充」、「製品性能や信頼性の向上に寄与し製品ライフサイクルを支えるIoT技術の開発・応用」などを進めています。

当連結会計年度の研究開発費は6,280百万円です。

（環境プラント事業）

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの１つとしての木質バイオマス発電や、産業廃棄物処理の需要を見込み、発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、最近の世界的な動きとなっているカーボンニュートラルやプラスチックによる海洋汚染抑制に寄与すべく、廃プラスチックのケミカルリサイクルに適用するガス化技術の開発を行っています。

当連結会計年度の研究開発費は908百万円です。

（精密・電子事業）

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求や、急成長するAI、IoT分野に関する技術開発要求にも対応するよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品や総合排気機器メーカの強みを活かした製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。

当連結会計年度の研究開発費は6,387百万円です。

５ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、2020年に策定した“価値創造ストーリー”である「E-Vision2030」の実現に向け、重要課題とした「５つのマテリアリティ」を解決するプロセスを通じて持続的に社会に貢献するため、風水力事業、環境プラント事業、精密・電子事業、及びこれら事業と連携を取るコーポレート研究開発組織で取り組んでいます。

各事業部及び各グループ会社では、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、及び技術や製品の高付加価値化に向けて、業務提携などの外部との協業も活用して効果的に進めました。 

これらの事業を支える共通基盤及び戦略的に重要となるコア技術の強化、更に中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化をコーポレート研究組織が中心となって実施し、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、プロセスイノベーション等への取り組みと成果の利用を加速させています。

また、特徴のある技術を有する中小企業との連携を発展させ、研究開発に係わる試作機能を継続的に強化しています。当連結会計年度の研究開発費は12,514百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

（風水力事業）

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（石油・ガス、電力）、建築設備分野などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組んでいます。標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めており、高効率のポンプ製品のシリーズ範囲を拡大し市場投入しました。顧客の省人化・省力化に貢献するICT技術製品の開発も継続して進めており、ポンプ等の健全性を遠隔にて把握できる状態監視システムについて客先でのモニタリングを実施しています。カスタムポンプでは、エネルギー分野と水利分野において省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めると共に、水素社会実現へ貢献すべく液体水素ポンプの開発も進めています（NEDO助成事業）。コンプレッサ・タービン分野では、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を継続して進めています。冷凍機分野では、環境負荷低減ニーズの高まりに応えるため、地球温暖化係数の小さい冷媒を使用する冷凍機の開発を継続し、ラインナップ拡充、応用範囲拡大に努めています。基盤技術に関しては、コーポレート研究開発組織とも連携し、技術開発を実施しました。「素形材・溶接・表面改質・加工等に対する新しい生産基盤技術」については、鋳造リードタイム削減に向けた“3D積層技術”による鋳型製作を検討しています。その他にも「数値シミュレーションと新しい最適化手法の導入などによる開発スループットの一層の向上とプロセスの標準化」、「PIV（粒子画像流速計）技術の導入による実験基盤技術の拡充」、「製品性能や信頼性の向上に寄与する製品ライフサイクルを支えるIoT技術の開発・応用」などを進めています。当連結会計年度の研究開発費は5,782百万円です。

（環境プラント事業）

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの１つとしての木質バイオマス発電や、産業廃棄物処理の需要を見込み、発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、最近世界的な環境問題となっている気候変動問題や廃プラスチック問題の解決に寄与すべく、廃プラスチックのケミカルリサイクルに適用するガス化技術の開発を再開しました。当連結会計年度の研究開発費は660百万円です。

（精密・電子事業）

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求や、急成長するAI、IoT分野に関する技術開発要求にも対応するよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は6,071百万円です。

５ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、①事業の根幹を支える共通基盤技術、その融合による製品コア技術の研究開発、②中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化、③現有技術の拡張展開、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、④既存製品の高付加価値化のための研究開発に区分されます。①と②はコーポレート研究開発組織を中心に、カンパニーと密接に連携を取り、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに、特徴のある技術を有する中小企業との連携を発展させ、研究開発に係わる試作機能を強化しました。③と④については個別の事業部門及びグループ各社が主体となって実施しました。これらのいずれにも区分されない領域は、新事業創出のための制度であるEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、プロセスイノベーション等への取り組みと成果の利用を加速し進めています。当連結会計年度の研究開発費は11,530百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

(風水力事業)

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（石油・ガス、電力）、建築設備分野などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組んでいます。標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めると共に、顧客利便性向上に向けインバータ内蔵PMモータを搭載した新型給水ユニット製品を市場投入しました。カスタムポンプでは、エネルギー分野と水利分野において省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めており、高速コンパクト化した大容量斜流ポンプや漏洩リスクをゼロにするキャンドモータポンプ等を市場投入しました。コンプレッサ・タービン分野では、省エネ・省資源に貢献する新型高効率タービンの開発を継続して進めています。冷凍機分野では、環境負荷低減化の要望の高まりに応えるため、当該技術のラインナップ拡充、応用範囲拡大に努めています。基盤技術に関しては、社内研究組織と連携し、「素形材・溶接・表面改質・加工等に対する新しい生産基盤技術」、「数値シミュレーションと新しい最適化手法の導入などによる開発スループットの一層の向上とプロセスの標準化」、「実験基盤技術の拡充」、「製品性能や信頼性の向上に寄与する製品ライフサイクルを支えるIoT技術の開発・応用」などについて継続して取り組んでいます。これらの基盤技術のうち、生産基盤技術はEIX制度の活用によって、またその他の研究はコーポレート研究開発組織と連携して取り組んでいます。当連結会計年度の研究開発費は5,298百万円です。

(環境プラント事業)

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの１つとしてのバイオマス、廃プラスチックなどを燃料とする発電施設の需要を見込み、発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。さらに、世界的な重要課題となっている気候変動問題や廃プラスチック問題の解決に寄与すべく、ガス化技術を用いた廃プラスチックのケミカルリサイクルについて、検討を開始しました。当連結会計年度の研究開発費は703百万円です。

(精密・電子事業)

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求やAI、IoT分野などの市場を見据えた技術開発要求に対応できるよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術の研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は5,528百万円です。

５ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、①事業の根幹を支える共通基盤技術、その融合による製品コア技術の研究開発、②中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化、③現有技術の拡張展開、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、④既存製品の高付加価値化のための研究開発に区分されます。①と②は2014年４月から活動を開始したコーポレート研究開発組織を中心に、カンパニーと密接に連携を取り、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに特徴のある技術を有する中小企業との連携を発展させ、研究開発に係わる試作機能を強化しました。また、③と④については個別の事業部門及びグループ各社が主体となって実施しました。これらのいずれにも区分されない新規領域推進のために運用を開始したEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、プロセスイノベーション等への取り組みと成果の利用を加速し進めています。当連結会計年度の研究開発費は106億98百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

(風水力事業)

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（石油・ガス、電力）、建築設備分野などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組んでいます。標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を継続して進めています。カスタムポンプでは、エネルギー分野において省エネ・省資源化製品を市場投入すると共に、水インフラ分野においてゲリラ豪雨等による降水量増加に対応すべく、既設の排水機場の排水性能を増強できる技術（ポンプラス）を市場投入しました。冷凍機分野では、環境負荷低減化の要望の高まりに応えるために、従来のフロン冷媒に替わる、地球温暖化係数が小さい冷媒を用いた新製品を開発し、市場投入を行いました。基盤技術に関しては、「数値シミュレーションと新しい最適化手法の導入などによる開発スループットの一層の向上とプロセスの標準化」、「実験基盤技術の拡充」、「製品性能や信頼性の向上に寄与する“制振・制御技術”、“材料技術”、“製品ライフサイクルを支えるIoT技術”の開発・応用」などについて継続して取り組みました。当連結会計年度の研究開発費は50億45百万円です。

(環境プラント事業)

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発に加え、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。また、再生可能エネルギーの１つとしてのバイオマス、廃プラスチックなどを燃料とする発電施設の需要を見込み、発電効率や運転の安定性を向上するための要素技術の開発に取り組んでいます。当連結会計年度の研究開発費は４億96百万円です。

(精密・電子事業)

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス用装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、重要度が増している新しいパッケージング技術などの開発要求やIoT分野などの新しい市場を見据えた技術開発要求に対応できるよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術における研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は51億56百万円です。

６ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、①事業の根幹を支える共通基盤技術、その融合による製品コア技術の研究開発、②中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化、③現有技術の拡張展開、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、④既存製品の高付加価値化のための研究開発に区分されます。①と②は平成26年４月から活動を開始したコーポレート研究開発組織を中心に、カンパニーと密接に連携を取り、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに特徴のある技術を有する中小企業との連携を発展させ、研究開発に係わる試作機能を強化しました。また、③と④については個別の事業部門及びグループ各社が主体となって実施しました。これらのいずれにも区分されない新規領域推進のために運用を開始したEIX(Ebara Innovation for X)制度を活用し、プロセスイノベーション等への取り組みと成果の利用を加速し進めています。当連結会計年度の研究開発費は72億18百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

(風水力事業)

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（電力、石油・ガス）、環境（省エネ）などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組み、市場投入を行いました。標準ポンプでは、省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発を進めるとともに、顧客の利便性向上に向け近距離無線通信(NFC)を搭載した給水ユニット製品を市場投入しました。冷凍機分野においては、環境負荷低減化の要望の高まりに応えるために、従来のフロン冷媒に替わる、地球温暖化係数が小さい冷媒を用いた新製品の開発に取り組みました。基盤技術に関しては、「数値シミュレーションなどによる開発スループットの一層の向上とプロセスの標準化」、「実験基盤技術の拡充」、「製品性能や信頼性の向上に寄与する“制振・制御技術”、“材料技術”、“製品ライフサイクルを支えるIoT技術”の開発・応用」などについて継続して取り組みました。当連結会計年度の研究開発費は38億61百万円です。

(環境プラント事業)

環境プラント事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。また、再生可能エネルギーの１つとしてバイオマス発電の需要が高まりを見せています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発、バイオマス発電における要素技術の開発に取組むとともに、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。当連結会計年度の研究開発費は３億48百万円です。

(精密・電子事業)

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス用装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、昨今注目されている新しいパッケージング技術などの開発要求やIoT分野などの新しい市場を見据えた技術開発要求に対応できるよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術における研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は30億８百万円です。

６ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、①事業の根幹を支える共通基盤技術、その融合による製品コア技術の研究開発、②中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化、③現有技術の拡張展開、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、④既存製品の高付加価値化のための研究開発に区分されます。①と②は平成26年４月から活動を開始したコーポレート研究開発組織を中心に、カンパニーと密接に連携を取り、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。さらに前年度からは、特徴のある技術を有する中小企業との連携構築のための新しい試みも開始しました。また、③と④については個別の事業部門及びグループ各社が主体となって実施しました。さらにこれらのいずれにも区分されない新規領域推進のために運用を開始した、EIX(Ebara Innovation for X)制度を適用し、プロセスイノベーションに取り組み、成果の利用を開始しました。当連結会計年度の研究開発費は87億58百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

(風水力事業)

風水力事業分野では、中長期的に成長の持続が期待される、水インフラ、エネルギー（電力、石油・ガス）、環境（省エネ）などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社との連携強化を含め、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組み市場投入を行いました。標準ポンプでは、引き続き省エネ・省資源・環境負荷低減を指向した製品群の開発と市場浸透などを図りました。国内及び中国市場に続きグローバル市場での販売を開始したターボ冷凍機については、大容量圧縮機の応用開発に取り組み、製品シリーズ拡充を図りました。基盤技術に関しては、開発スループットの一層の向上を目指した数値シミュレーション技術やポンプや圧縮機形状の最適化技術の強化、解析プロセスの標準化、実験基盤技術の拡充、製品ライフサイクルを支えるサービス＆サポート向け技術の開発・応用などについて継続して取り組みました。当連結会計年度の研究開発費は47億61百万円です。

(エンジニアリング事業)

エンジニアリング事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から施設運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力や、品質、コスト競争力強化が求められています。また、再生可能エネルギー電力固定価格買取制度（FIT）開始によりバイオマス発電の需要が高まりを見せています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発、バイオマス発電における要素技術の開発に取組むとともに、これらを支えるAIやIoT技術の活用を推進しています。当連結会計年度の研究開発費は２億69百万円です。

(精密・電子事業)

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス用装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、昨今注目されている新しいパッケージング技術などの開発要求やIoT市場を見据えた技術開発要求に対応できるよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術における研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は37億27百万円です。

６ 【研究開発活動】

当社グループの研究開発は、①事業を根幹から支え競争力の源泉となる共通基盤技術、及びその融合による製品コア技術の研究開発、②中長期的展望に基づいた技術シーズの探索と実用化、③現有技術の拡張展開、新技術の実用化・新製品応用のための研究開発、④既存製品の改善・改良、高付加価値化のための研究開発に区分されます。①と②は平成26年４月から活動を開始したコーポレート研究開発組織を中心に、カンパニーと密接に連携を取り、大学等の外部研究機関との共同研究も積極的に活用して進めました。また、③と④については個別の事業部門及びグループ各社が主体となって実施しました。さらにこれらのいずれにも区分されない新規領域の研究開発を推進するため、EIX(Ebara Innovation for X)制度を新設し、運用を開始しました。当連結会計年度の研究開発費は76億32百万円です。

セグメントごとの研究開発活動の状況は、以下のとおりです。

(風水力事業)

風水力事業分野では、ポンプ事業において、中長期的に成長が期待される水インフラ、エネルギー（電力、石油・ガス）、環境（省エネ）などのグローバル市場向け製品に関し、海外グループ会社と連携して、ラインナップ拡充や製品力強化に取り組み、新製品の市場投入を行いました。製品開発では、マーケティング活動から市場投入後の損益目標達成まで一貫したプロダクトマネジメントシステムを導入しました。冷熱事業においては、ターボ冷凍機について産業向けの製品開発に取り組み、製品シリーズの拡充を図りました。基盤技術に関しては、製品開発における重要な機械要素の開発に加え、数値シミュレーション技術や最適化技術の強化、数値解析・評価プロセスの標準化、サービス＆サポート向け技術の開発・応用などに取り組みました。当連結会計年度の研究開発費は50億64百万円です。

(エンジニアリング事業)

エンジニアリング事業分野では、廃棄物処理施設の建設工事（EPC）から運営・維持管理（O&M）までを長期的に一括して行うDBO事業、既存施設の延命化を提案する延命化事業、既存施設のO&Mを長期にわたり運営委託を受ける長期包括事業に取り組んでおり、これまで以上に提案力とコスト競争力強化が求められています。また、再生可能エネルギー電力固定価格買取制度（FIT）開始によりバイオマス発電の需要が高まりを見せています。これらの状況を踏まえ、施設更新に伴う機能強化、ライフサイクルコスト低減を可能とする新技術・新製品開発、保守運営技術の改良開発、並びにバイオマス発電における要素技術の開発を推進しています。当連結会計年度の研究開発費は１億30百万円です。

(精密・電子事業)

精密・電子事業分野では、半導体デバイス製造プロセス用装置において、チップの微細化や３次元集積化だけでなく、昨今注目されている新しいパッケージング技術などの開発要求に対応できるよう、装置の改良・改善及び新機種の開発に取り組んでいます。コンポーネント製品においては、更なる省エネ化及び環境負荷低減に貢献できる製品の開発に取り組んでいます。また、顧客との共同開発・コンソーシアムへの参画、さらには各大学との共同研究などを通して、次世代半導体プロセス技術における研究も継続しています。当連結会計年度の研究開発費は24億38百万円です。